كلاهمامضخة فراغ وضاغطهي أجهزة لمعالجة الغاز ، ولكن مبادئ عملهم ونطاق التطبيق مختلفون.
تتمثل الوظيفة الرئيسية لمضخة الفراغ في إزالة الغاز من غرفة التفاعل لتقليل الضغط في الحاوية لتحقيق درجة فراغ محددة مسبقًا. يتم استخراج الغاز من الفضاء من خلال آلية الشفط والعادم لتشكيل حالة فراغ. عادةً ما تستخدم مضخات الفراغ في المختبرات ومجالات الإنتاج والتصنيع. في Wefer Fabs ، معدات الحفر ، معدات الترسيب ، معدات الطباعة الحجرية EUV ، ومعدات زراعة الأيونات ، ومعدات الكشف والتوصيف ، وما إلى ذلك ، كلها تحتاج إلى فراغ.
تتمثل وظيفة الضاغط في استنشاق الغاز وضغطه ، وزيادة ضغط الغاز ، وضغط الغاز في حجم أصغر ، وزيادة كثافة وضغط الغاز. يتمثل مبدأ العمل في ضغط الغاز من خلال صمام العادم ، ثم وضع الغاز المضغوط في خزان غاز أو معدات أخرى. عادة ما تستخدم الضواغط في معالجة وتصنيع حقول. يتم توفير غاز CDA الذي نتحدث عنه غالبًا بواسطة الضاغط. يستخدم CDA للتحكم في معدات الأتمتة المختلفة والصمامات. بالنسبة لتصنيع أشباه الموصلات ، يجب أن يكون CDA نقيًا وجافًا للغاية. يحتاج إخراج الهواء بواسطة الضاغط إلى المرور عبر نظام ترشيح متطور لإزالة الزيت والرطوبة والجزيئات الأخرى لضمان عدم وجود تلوث للرقاقة.
ما هي فئاتمضخة فراغ وضاغط?
في معدات أشباه الموصلات ، يتم استخدام المضخات الجافة والمضخات الجزيئية بشكل شائع. تشير المضخة الجافة إلى مضخة فراغ لا تستخدم أي سائل كوسيلة ختم أو تبريد ، وتجنب مشكلة تلوث بخار الزيت. يتم استخدامه بشكل عام لاستخراج الفراغ الخشن لمعدات أشباه الموصلات. المضخات الجزيئية يمكن أن تحقق مستويات فراغ عالية للغاية. غالبًا ما تستخدم المضخات الجافة والمضخات الجزيئية مجتمعة في معدات أشباه الموصلات لتلبية احتياجات مستويات الفراغ المختلفة.
يمكن تقسيم الضواغط إلى مكبس ، المسمار ، الطرد المركزي ، ضواغط الهواء الريفي الدوار ، إلخ.
نظرًا للتصميمات المختلفة ومبادئ العمل لمضخة الفراغ والضاغط ، لا يمكن للمضخات الفراغ عادةً استبدال الضواغط. على الرغم من أن مضخات الفراغ يمكن أن تقلل من ضغط الغازات وكثافة الغازات ، إلا أنها لا تستطيع ضغط الغازات في أحجام أصغر وضغوط أعلى. بالإضافة إلى ذلك ، نظرًا لمحدودية الأداء وخصائص العمل لمضخات الفراغ ، فهي الأنسب للتعامل مع الغازات منخفضة الكثافة وبيئات الضغط المنخفض.
لذلك ، إذا كان هناك حاجة إلى ضغط الغاز في حجم أصغر وضغط أعلى ، فيجب استخدام ضاغط. على العكس من ذلك ، إذا كان هناك حاجة إلى استخراج الغاز وتشكيل حالة فراغ ، فيجب استخدام مضخة فراغ.
على الرغم من كلاهمامضخة فراغ وضاغطهي الأجهزة المستخدمة لمعالجة الغاز ، وهناك اختلافات كبيرة في مبدأ التصميم والعمل. على الرغم من أن مضخة الفراغ يمكن أن تقلل من ضغط الغاز وكثافة الغاز ، إلا أنها لا يمكن أن تحل محل الضاغط ، خاصة عندما يحتاج الغاز إلى ضغط حجم أصغر وضغط أعلى.
